دراسة حالة: أنبوب فرن السيليكا المنصهر - إيمي
نشرت في: June 24, 2026
1خلفية العميل
يستخدم مصنع أشباه الموصلات الكهربائية 8 بوصات أفران الانتشار الرأسي عند 10501180 درجة مئوية للتأكسيد والتعاطي. متطلبات صارمة على نقاء المواد،مقاومة التنقل بالأشعة تحت الحمراء ومقاومة إزالة الزيت.
2. القضايا الأصلية مع أنابيب السيليكا العادية
أسببت الأنابيب السابقة الملمعة بالشعلة JGS1 في عدة عيوب إنتاج:
- يؤدي محتوى OH المرتفع إلى ضعف اختراق الأشعة تحت الحمراء ومجال درجة الحرارة غير المتساوية ، مما يقلل من إنتاج الوافر.
- تسبب ندرات المعادن العالية في التخلص من الزيت بسرعة وتشققات متكررة؛ تحتاج الأنابيب إلى استبدالها كل 45 يومًا.
- المكسرات الملمعة باللهب غير الملموسة تؤدي إلى ضعف الختم في الفراغ وتركيز غازات العملية غير المستقر.
3الحل الأمثل: FS03 أنابيب السيليكا
- المواد: FS03 السيليكا المذابة تحت الفراغ، SiO2 ≥ 99.995٪، OH− < 10 ppm، شوائب منخفضة للغاية.
- السطح: صبغة مرآة شفافة تماماً للأنابيب والشظايا والجوزات الكوارتزية (لا صبغة لهب).
- الهيكل: جدار سميك ، لحام تخفيف الإجهاد لمقاومة الصدمات الحرارية العالية.
4نتائج الاختبار والإنتاج
- انخفض فرق درجة الحرارة داخل الفرن من ± 12 درجة مئوية إلى ± 3 درجة مئوية.
- ارتفع إنتاج الوافر بنسبة 6.8٪ ؛ تم تمديد عمر الخدمة من 45 يومًا إلى 180 يومًا.
- انخفضت فشل تسرب الفراغ بنسبة 95%؛ انخفاض توقف الإنتاج لاستبدال الأنابيب.
5الاستنتاج
FS03 أنابيب الفرن المرصعة واضحة تحل تكافل درجة الحرارة ومخاطر التلوث، وخفض تكلفة الصيانة وتعزيز الإنتاج الضخم المستقر للعمليات الحرارية أشباه الموصلات.
